Trihlorsilāns

Trihlorsilāns (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) ir bezkrāsains, ļoti gaistošs šķidrums ar asu, slāpējošu ūdeņraža hlorīda smaku. Vārot 31,8 grādos un spēcīgi reaģējot ar mitrumu, tas ir galvenais Siemens procesa izejmateriāls, lai ražotu augstas{10}}tīrības pakāpes polisilīciju fotoelektriskajām saules baterijām un pusvadītāju plāksnēm. TCS tiek plaši izmantots arī silīcija epitaksiālajā plāksnīšu audzēšanā, silīcija organiskā sintēzē (silikona eļļas, gumijas, sveķi, sakabes aģenti), CVD silīcija plānslāņa nogulsnēšanai un kā selektīvs reducētājs organiskajā sintēzē. Pieejams rūpnieciskā (lielāka vai vienāda ar 99,0%) un elektroniskā (tīrība līdz 9N). Klasificēts kā ar ūdeni reaģējošs un viegli uzliesmojošs (UN 1295, klase 4.3+2.3, PG I) ar ārkārtīgi plašu sprādzienbīstamības diapazonu no 1,2% līdz 90,5%; rīkoties tikai stingri bezūdens apstākļos ar sausā slāpekļa aizsardzību.